六十三章与sony谈判前的准备(二)(1 / 2)

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而提到材料学,就不得不提到奠定了日本在精密加工以及精密芯片行业的统治地位的另一个基础产业,那就是光刻机。

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机价格昂贵,通常在3,000至5,0000万美元。

光刻机/紫外曝光机(maskaligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫maskalignmentsystem.

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

photolithography(光刻)意思是用光来制作一个图形(工艺)。

在硅片表面匀胶,然后

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